本項(xiàng)目為合肥半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園核心標(biāo)準(zhǔn)廠房,聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高潔凈、高穩(wěn)定、高靈活的生產(chǎn)需求,打造適配芯片制造及封裝測試環(huán)節(jié)的專業(yè)化空間。外立面采用密封式節(jié)能幕墻設(shè)計(jì),搭配防塵金屬扣板,有效隔絕外部粉塵與溫濕度干擾,滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)對外部環(huán)境的嚴(yán)苛要求。?
    內(nèi)部按功能劃分為六大核心區(qū)域:潔凈生產(chǎn)區(qū)采用無設(shè)備空曠布局,預(yù)留8-12米柱距滿足光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等大型設(shè)備安裝需求;管線集成區(qū)通過規(guī)整的頂部管線橋架系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)水、電、氣、真空系統(tǒng)集中管控,減少管線交叉干擾;潔凈緩沖區(qū)設(shè)置于生產(chǎn)區(qū)入口,搭配墻面通風(fēng)口保障潔凈度過渡;設(shè)備預(yù)留區(qū)保留開闊橫向空間,支持后期工藝動線調(diào)整;結(jié)構(gòu)輔助區(qū)通過角落加固設(shè)計(jì),滿足重型設(shè)備承重需求;墻面潔凈區(qū)采用光滑防污材質(zhì),降低粉塵附著率。整體空間兼顧半導(dǎo)體生產(chǎn)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)與功能靈活性,適配合肥半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求。